半岛平台芯碁微装申请一种用于阻焊 LDI 的环境温度协同控制方法自适应调整环境温

　　半岛平台芯碁微装申请一种用于阻焊 LDI 的环境温度协同控制方法自适应调整环境温度改善光刻精度影响金融界 2024 年 8 月 14 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于阻焊 LDI 的环境温度协同控制方法“，公开号 CN7.0，申请日期为 2024 年 5 月半岛平台官网。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种用于阻焊 LDI 的环境温度协同控制方法半岛网站，所述方法包括 S1：在冷机状态时半岛网站，将调速风机档位设置为一档，同时采用水冷机实时调节环境温度，S2：通过温度传感器获取十组环境温度半岛网站，求取平均值作为当前环境温度值 Ten，S3：将 Ten 与所需控制的目标温度 Ttarget1 进行比较，根据不同比较结果调节水冷机温度半岛平台官网，S4：开始曝光时，自动切换打开顶置环控功能，S5：记录下冷机向热机切换时的水冷机设定温度 Tcooler、切换时的环境温度 Ttarget2 及实时环境温度值依然记为 Ten，根据 Ttarget2 与 Ten 的差值来调整风机挡位及水冷机温度；该用于阻焊 LDI 的环境温度协同控制方法，可自适应调整环境温度，有效改善了环境温度的大幅度变化对光刻精度的影响半岛平台官网。